[实用新型]真空吸附式叉形末端夹持器有效
| 申请号： | 202021228005.7 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN212331075U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 | 申请（专利权）人： | 昀智科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 胡大成 |
| 地址： | 102300 北京市门头沟区莲石*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空吸附式叉形末端夹持器,包括：本体；法兰,法兰位于本体一端；和吸盘,吸盘位于本体另一端,并通过本体与法兰呈一体结构,吸盘的端缘部开设有叉形缺口。目前行业中常使用中心接触的方式来拾取晶圆片，但对于大尺寸，超薄晶圆片来说，仅仅依靠中间接触，会造成晶圆的边缘区域受自重影响而下垂，造成整片晶圆片的变形，同时也会降低晶圆片在搬运过程中的稳定性。通过实施本实用新型的技术方案，吸盘为叉形结构，与晶圆片接触时，能有效防止晶圆片边缘下垂；通过叉形吸盘上三个沟槽的设置，保证夹持器在拾取大尺寸、超薄晶圆片时可以向整个晶圆面提供稳定而均匀的吸附力和支撑，从而保证晶圆片在搬运过程中的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 叉形 末端 夹持 | ||
【主权项】：
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