[实用新型]一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座和箱体，所述底座上端面固定连接有箱体，所述箱体上端面固定连接有固定箱，所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架，所述支撑架上端面固定连接有转动装置，所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机，所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆；本实用新型中，通过设置的固定壳、从动齿轮、转动轴和固定台，通过设置的六个从动齿轮可以带动转动轴转动，从而带动固定台上方的基板转动，可以使正电荷的离子均匀轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化，从而在试样表面上形成一层均匀的薄膜，保证镀膜质量。