[实用新型]一种晶棒定角粘接机有效
| 申请号： | 202021229552.7 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN212288211U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 周晋羽;李聪聪;周巍 | 申请（专利权）人： | 台州市博信电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 台州市方圆专利事务所(普通合伙) 33107 | 代理人： | 徐斌斌 |
| 地址： | 318000 浙江省台州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶棒定角粘接机，属于半导体设备技术领域。它解决了现有晶棒与料板的定角和粘接精度不高的问题。本晶棒定角粘接机,包括工作台、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板呈水平放置并定位的扫描机架，扫描机架设置在工作台上，扫描机架能够相对工作台转动，扫描机架上设有矫正基准立板且矫正基准立板能够相对扫描机架转动，矫正基准立板上设有柔性吸盘且柔性吸盘能够将放置在料板上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板的垂直基准面上，扫描机架上设有压块且压块能够将晶棒压紧在料板上。本定角粘接机通过多次的扫描、矫正、验证形成一个闭环式的循环矫正定角过程，能够保证精确的对晶棒实现定角，提高了定角和粘接的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶棒定角粘 接机 | ||
【主权项】：
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