[实用新型]防撞装置、工件台系统及光刻机有效
| 申请号： | 202021248834.1 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN212586694U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张雯 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的防撞装置、工件台系统及光刻机，其中，防撞装置中的防撞组件中设置了可伸缩的防撞杆，并使防撞杆能够牵制第一滑块和第二滑块。因此当防撞杆的两端至少其中之一被撞击时，防撞杆可牵动第一滑块朝向第二滑块运动和/或牵动第二滑块朝向第一滑块方向运动，并压缩与第一滑块和第二滑块连接的可伸缩的缓冲杆，缓冲杆被压缩后产生反方向的应力以抵消防撞杆被撞击时产生的撞击力，实现双向防撞功能。而本实用新型的防撞装置，其将双向缓冲功能集成在一个防撞装置内，因此提升了本实用新型的防撞装置、安装上述防撞装置的工件台及光刻机的集成度，提升了空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 工件 系统 光刻 | ||
【主权项】：
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