[实用新型]一种扩晶环结构有效

专利信息
申请号: 202021253668.4 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN212209541U 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 王立彦;王星 申请(专利权)人: 东莞伏尔甘自动化设备有限公司
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L21/67
代理公司: 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 代理人: 朱亲林
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种扩晶环结构,其包括有母环、子环和蓝膜;所述的母环套设在所述的子环外;所述的蓝膜覆盖于所述的子环,且所述的蓝膜固定于所述的母环与所述的子环中的间隙;所述的母环下表面设有便于裁剪所述的蓝膜的切割槽。采用上述技术方案后,母环设有便于裁剪蓝膜的切割槽,这样的结构可以避空刀具,提供足够的空间让刀具切割蓝膜,一来可以保护母环不受损害,二来可以保护刀具不受损害,切割槽还可以让刀具一刀切除多余的蓝膜而不留飞边,这样就可以一次操作就把蓝膜处理好,不需要对扩晶环结构上的蓝膜进行二次加工,大幅度提高了扩晶环结构的生产效率。
搜索关键词: 一种 扩晶环 结构
【主权项】:
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