[实用新型]一种扩晶环结构有效
申请号: | 202021253668.4 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN212209541U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 王立彦;王星 | 申请(专利权)人: | 东莞伏尔甘自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/67 |
代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 朱亲林 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扩晶环结构,其包括有母环、子环和蓝膜;所述的母环套设在所述的子环外;所述的蓝膜覆盖于所述的子环,且所述的蓝膜固定于所述的母环与所述的子环中的间隙;所述的母环下表面设有便于裁剪所述的蓝膜的切割槽。采用上述技术方案后,母环设有便于裁剪蓝膜的切割槽,这样的结构可以避空刀具,提供足够的空间让刀具切割蓝膜,一来可以保护母环不受损害,二来可以保护刀具不受损害,切割槽还可以让刀具一刀切除多余的蓝膜而不留飞边,这样就可以一次操作就把蓝膜处理好,不需要对扩晶环结构上的蓝膜进行二次加工,大幅度提高了扩晶环结构的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩晶环 结构 | ||
【主权项】:
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