[实用新型]一种半自动扩晶机有效
申请号: | 202021256131.3 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN212209542U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 王立彦;王星 | 申请(专利权)人: | 东莞伏尔甘自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/67 |
代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 朱亲林 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半自动扩晶机,其包括有基架、母环压膜组件和子环压膜组件,母环压膜组件和子环压膜组件均设置在基架上,母环压膜组件位于子环压膜组件的上方,并向下对子环压膜组件压合;子环压膜组件包括下扩晶盘和第一驱动件,第一驱动件设置在基架的下方并连接下扩晶盘;母环压膜组件包括有上扩晶盘和第二驱动件,第二驱动件设置在基架的上方并连接上扩晶盘,下扩晶盘与上扩晶盘通过第一驱动件和第二驱动件带动压合;下扩晶盘设有用于切割蓝膜的切割刀,采用上述技术方案后,下扩晶盘设有切割刀,在上扩晶盘和下扩晶盘配合压合时,切割刀自动会切除多余的蓝膜,从而提高加工效率、降低人力成本、保证操作人员人身安全的。 | ||
搜索关键词: | 一种 半自动 扩晶机 | ||
【主权项】:
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