[实用新型]一种MEMS气体质量流量计有效
申请号: | 202021270561.0 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN212340346U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 彭凯 | 申请(专利权)人: | 无锡康森斯克电子科技有限公司 |
主分类号: | G01F1/86 | 分类号: | G01F1/86;G01F15/14 |
代理公司: | 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158 | 代理人: | 宋萍 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及气体流量计技术领域,具体涉及一种MEMS气体质量流量计,包括MEMS气体质量流量计的传感器,传感器上设有测量杆,测量杆贯通安装在管道内,传感器上设有信号线穿线孔,管道上设有空心的防护套,防护套内穿设有石棉衬套,测量杆紧配穿进石棉衬套内。本实用新型的有益效果:通过石棉衬套的隔热作用,降低外界温度对测量杆的热传递影响,减少对传感器测量误差,通过夹持结构中锁紧盖在安装座上的螺纹旋合,使压块抵顶圆台段,驱动圆台段在锥槽内滑动,同时圆台段上设置的条形槽,使得圆台段的外锥面产生向其径向内侧的弹性,进而使夹持孔内壁弹性,将外部的信号线夹紧,避免信号线从传感器上脱落,造成检测中断。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 气体 质量 流量计 | ||
【主权项】:
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