[实用新型]一种电磁屏蔽膜制备装置有效
申请号: | 202021287341.9 | 申请日: | 2020-07-05 |
公开(公告)号: | CN212955322U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 曾庆熙;魏明强;杨延远;王文华 | 申请(专利权)人: | 山东劲拓新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 274000 山东省菏泽市定陶区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电磁屏蔽膜制备装置,至少包括真空腔,所述真空腔的内部设置有分区隔板且分区隔板上开设有通孔,所述分区隔板的两侧分别为卷绕区以及镀膜区,所述卷绕区的内部设置有放卷辊以及收卷辊,所述镀膜区的内部设置有第一冷却辊以及第二冷却辊,所述放卷辊与第二冷却辊之间以及收卷辊与第一冷却辊之间皆设置有多个导向辊,所述第一冷却辊以及第二冷却辊的外圆周皆设置有至少两个磁控溅射装置。本实用新型通过将放卷辊、收卷辊、第一冷却辊、第二冷却辊以及磁控溅射装置放置于同一真空腔中,使得本实用新型结构更加紧凑,进而减小了本实用新型的体积,从而减少了本实用新型的占地空间,降低了本实用新型的成本,值得大力推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 电磁 屏蔽 制备 装置 | ||
【主权项】:
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