[实用新型]光学级CVD金刚石膜片的制备系统

摘要

本实用新型提供了一种光学级CVD金刚石膜片的制备系统，包括反应室，反应室内的上部安装有等离子炬，反应室内的下部设置有沉积区；等离子炬外周设置有励磁线圈；等离子炬与励磁线圈之间具有间隙；反应室外周设置有冷却腔；冷却腔主体成U形；冷却腔的U形两侧区域一直延伸至离子炬与励磁线圈之间的间隙内形成冷却用的通道；冷却腔内螺旋分布设置有冷却管，冷却管内有冷却水；沉积区内可升降设置有升降台；升降台上方转动设置有基盘；基盘底面中央固定设置有基座。本实用新型所述的光学级CVD金刚石膜片的制备系统，操作方便，适用于制备光学级CVD金刚石膜片。