[实用新型]一种用于溅射镀膜设备的夹具有效
| 申请号： | 202021315940.7 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN213447282U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘长青;郭翔宇 | 申请（专利权）人： | 长沙迈博光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南中泽专利代理事务所(普通合伙) 43259 | 代理人： | 龙予倩 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙经开区*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于溅射镀膜设备的夹具包括：夹具底；固定夹件，所述固定夹件固定连接于所述夹具底顶部的左侧；活动夹件，所述活动夹件固定连接于所述夹具底顶部的右侧，所述活动夹件包括活动块，所述活动块的底部与夹具底顶部的右侧滑动连接，所述活动块顶部的左侧固定连接有活动滑杆，所述活动块顶部的右侧固定连接有活动螺纹杆，所述活动滑杆与活动螺纹杆的顶部之间设置有活动夹；辅助夹件，所述辅助夹件固定连接于所述夹具底的顶部。本实用新型可以手动调节控制杆来对靶件进行固定，并且可以根据靶件的材质不同施加不同力量的压力，配合两个辅助垫板将靶件固定，夹取力度灵活可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 溅射 镀膜 设备 夹具 | ||
【主权项】：
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