[实用新型]一种硅片清洗机用抛动装置有效
| 申请号： | 202021354609.6 | 申请日： | 2020-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN212856920U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 薛佳勇;王海军;薛佳伟 | 申请（专利权）人： | 天津众晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津市北*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种硅片清洗机用抛动装置，包括底座、电机支架、电机、减速器、偏心轮、动力横杆、上支架、背板、抛动孔、滑杆、限位机构、开关支架、行程开关、抛动臂、垫块，底座上固定安装有电机支架，电机支架上固定安装有电机，电机的输出轴与减速器相连，减速器的输出轴上安装有偏心轮，底座上方设有上支架，上支架通过背板与底座相连接，底座与上支架之间安装有滑杆，滑杆上设有限位机构，动力横杆下侧的背板上固定安装有开关支架，开关支架上设有行程开关，行程开关与PLC控制系统电连接。本实用新型优化了整个硅片清洗机的运行过程，提升了单晶硅片在清洗工序中的安全系数,也更利于机械手提取和放置硅片工装的联动控制，提升了系统的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 机用抛动 装置 | ||
【主权项】：
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