[实用新型]一种用于硅片清洗的刻蚀风刀结构有效
| 申请号： | 202021400571.1 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN212856965U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 仇慧生;朱德成;芮瞻飞 | 申请（专利权）人： | 环晟光伏（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光伏技术领域，且公开了一种用于硅片清洗的刻蚀风刀结构，包括安装架，所述安装架内腔的底部横向安装有隔板，所述隔板顶端的中部安装有超声波发生器，所述安装架顶端的中部安装有风机，所述风机的输出端穿过安装架安装有导气架，所述导气架的底端连通有等距离排列的导气管。本实用新型通过风机向导气架的内部通风，经过分流管进入到风刀架，通过风刀能够将风排出，并且能够对风施加一定的力，使排出的风具有一定的速度，增大其喷射速度，从而能够将硅片上的水分吹去，两个风刀呈一定的角度排列，能够对硅片表面的吹扫更加均匀，并且通过双风刀对硅片进行吹拂，提高了对硅片的吹扫效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 清洗 刻蚀 结构 | ||
【主权项】：
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