[实用新型]一种提高钼管靶材密度机构有效
申请号: | 202021407168.1 | 申请日: | 2020-07-16 |
公开(公告)号: | CN212955318U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 张学智;温艳玲;龙训初 | 申请(专利权)人: | 河北冠靶科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22B9/02;C22B34/34 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
地址: | 050000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种提高钼管靶材密度机构,包括真空气密箱,所述真空气密箱下表面固定安装有进水孔,所述真空气密箱位于进水孔前方固定安装有废气排放口,所述真空气密箱位于废气排放口前方固定安装有出料管,所述真空气密箱位于出料管前方固定安装有出水孔,所述出料管下端固定安装有防堵阀,所述真空气密箱上表面固定安装有送料管,所述送料管上端螺旋连接有密封盖,所述真空气密箱位于送料管前方固定安装有激光枪。本实用新型所述的一种提高钼管靶材密度机构,能够保证反应的迅速进行,且能够进一步熔化钼,双重的熔化除杂反应之后,钼金属的纯度会进一步被提升,从而达到了更高密度的钼靶材。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 钼管靶材 密度 机构 | ||
【主权项】:
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