[实用新型]平面波导型光分路器的加工装置有效
| 申请号： | 202021415352.0 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN212781326U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王超 | 申请（专利权）人： | 常州凌凯特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 周文杰 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及光分路器的技术领域，尤其涉及一种平面波导型光分路器的加工装置。这种平面波导型光分路器的加工装置包括一侧面敞开的箱体，箱体中间处设有用于放置晶圆的固定板，箱体的上端设有可上下调节的压板，箱体上端设有上UV点光源、下端设有下UV点光源。这种平面波导型光分路器的加工装置的结构简单，压板调节方便，同时上下光源保证照射更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 波导 分路 加工 装置 | ||
【主权项】：
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