[实用新型]一种靶材离化冷却承载机构有效
| 申请号： | 202021423084.7 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN212375367U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋;袁明;王锋 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 袁敏怡 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；外管与内管之间设置有冷却液腔；外管设置有第一进水口和第一出水口；外管的外侧套设有电磁感应线圈。本申请的靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却承载机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化冷却承载机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材离化 冷却 承载 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东鼎泰机器人科技有限公司，未经广东鼎泰机器人科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021423084.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高集成度两级大扭矩减速机
- 下一篇：一种涂层机的机芯构造
- 同类专利
- 专利分类
