[实用新型]一种靶材的磁性弯管机构

摘要

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是指一种靶材的磁性弯管机构，其包括基座、真空弯管件、电磁线圈、靶材液冷固定组件和引弧组件，基座安装于真空弯管件的一端，电磁线圈绕设于真空弯管件的外壁，靶材液冷固定组件用于安装靶材并对靶材降温，引弧组件用于驱使该靶材产生弧斑。带电的溅射原子在电磁场力的作用下其移动轨迹与真空弯管件的中心轴线重合设置或平行设置，真空弯管件的中心轴线呈弯曲弧状，使得带电的溅射原子沿特定路径溅射到预设位置的工件的表面，沉积形成镀层，对靶材液冷固定组件内部导入流动的冷却液，能够对靶材液冷固定组件实现快速降温，保护靶材液冷固定组件和靶材，延长靶材液冷固定组件的使用寿命。