[实用新型]一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置有效

专利信息
申请号: 202021428947.X 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN212278528U 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 苏宜鹏;冼健威;李南杰 申请(专利权)人: 东莞市晟鼎精密仪器有限公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 代理人: 刘汉民
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于等离子设备技术领域,具体涉及一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置,包括盖板、第一导流板、密封装置、壳体、第一电极装置和两个第二电极装置,盖板、第一导流板依次盖设于壳体,第一导流板通过密封装置与壳体连接,第一电极装置设置于壳体的一端,两个第二电极装置穿过壳体,两个第二电极装置的端部均与第一电极装置的端部对应,壳体的中部容置有分流块,分流块两侧的第一弧形槽与壳体两内壁上的第二弧形槽对应,盖板设置有容置槽,容置槽与设置于盖板的进气管连通。该等离子电源能够同时输出两个负载等离子处理喷枪,等离子的产生效率高,且散热性好,设备整体的工作效率高,安全系数高。
搜索关键词: 一种 多点 阵列 线性 宽幅 等离子 发生 装置
【主权项】:
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