[实用新型]一种内循环二流体蚀刻系统有效
| 申请号： | 202021449437.0 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN212851242U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 梁伟裕;覃军平;杨景章;黄婷婷 | 申请（专利权）人： | 东莞市致辉线路板设备有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 | 代理人： | 杨英华 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种内循环二流体蚀刻系统，包括密封机箱、药水管路、高压气体管路和若干喷咀，密封机箱的底部设有储存药水的药水池；药水管路设有药水泵连接药水池；高压气体管路设有高压气泵，高压气泵的进气口位于密封机箱内；若干喷咀并列设置位于密封机箱内，分别连接药水管路和高压气体管路。本实用新型提供的内循环二流体蚀刻系统，采用高压气体和药水混合形成二流体喷出，喷出的喷雾药水颗粒小，更加容易进入微细线路间进行交换蚀刻，而且喷出力度大，有效提高蚀刻效率；高压气体管路形成内循环，有效抑制雾化药水向机箱外泄漏，减少药水的流失；而且设备结构简单，不需要单独的药水回收系统，节省了设备的成本及使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 循环 流体 蚀刻 系统 | ||
【主权项】：
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