[实用新型]一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置有效
| 申请号： | 202021470889.7 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN212330719U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 张巨宇;贺贤汉;李泓波;王松朋;朱光宇 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（大连）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B57/00 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 盖小静 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，包括支撑框架下部一侧设有研磨液存储装置，另一侧设有纯净水存储桶，所述支撑框架上部一侧设有三通转换阀门，另一侧设有流量控制泵；所述研磨液存储装置通过输液管路与三通转换阀门的A口相连，所述纯净水存储桶通过输水管路与三通转换阀门的B口相连，所述三通转换阀门的C口连接输出管路，所述输出管路与流量控制泵相连；所述支撑框架的底板上还设有变频电机，该变频电机输出轴的端部伸进研磨液存储装置中，所述端部设有搅拌桨叶。本申请能实现对研磨液流速的精准控制，具有定时自动搅拌功能，无需人工手动搅拌溶液防止结晶，同时解决了管路出液口处的结晶问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 研磨 设备 自动 供给 输送 装置 | ||
【主权项】：
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