[实用新型]一种光刻机四个扫描头的工作机构

摘要

本实用新型公开了一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座和放置板，且曝光区域边槽上设有安装板，安装板底部连接有多个转动杆，所述转动杆底部连接有扫描头本体，多个所述扫描头本体外侧设有带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理的调速组件，且调速组件与放置板连接，所述放置板顶部连接有带动调速组件运动的传动组件，且传动组件与调速组件连接，此通过所设的传动组件带动所设的调速组件，进而实现对多个扫描头本体以不同的转速进行转动，便于实现不同扫描头本体在光刻机本体的带动作用下实现对以不同的转速对扫描区域进行扫描曝光处理，提高了多个扫描头本体在扫描区域以不同的转速扫描的效率。