[实用新型]一种光刻机的自动对焦的工作装置

摘要

本实用新型公开了一种光刻机的自动对焦的工作装置，包括基座和活动板，所述活动板的下方安装有对焦装置，所述基座的顶部一侧安装有电磁滑轨，所述电磁滑轨上活动设置有用于实现对焦装置的高度进行调节的高度调节装置，所述对焦装置上设置有用于对其左右对焦调节的滑动组件，所述基座的顶部设置有用于对不同尺寸大小的基片进行固定的固定装置，此光刻机的自动对焦的工作装置，改变了传统的对焦装置高度不易调节的方式，利用设置的高度调节装置，使得该对焦装置在对焦时可调节高度，进而提高对焦效率，并由电磁滑轨和滑动组件的配合，能实现对焦装置的前后左右位置进行自动调节，更进一步的完成精准的对焦工作。