[实用新型]一种砷化镓晶种加工设备有效
申请号: | 202021507926.7 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN212705981U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 郭辉;刘欣;蔡祗首;杨涛 | 申请(专利权)人: | 惠州市中惠宇航半导体新材料有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/06;B24B47/22;B24B55/06;B24B55/12 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 余志军 |
地址: | 516000 广东省惠州市仲恺高新区陈*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及砷化镓生产技术领域,尤其是一种砷化镓晶种加工设备,包括防尘箱,所述防尘箱固定设有导流台,所述导流台转动连接设有传动轴,所述传动轴固定设有打磨盘,所述传动轴固定设有减速电机,所述滑槽滑动连接设有移动座,所述移动座固定设有电动液压缸,所述电动液压缸固定设有调节固定座,所述调节固定座转动连接设有调节轴,所述调节轴固定设有步进电机,所述调节轴固定设有调节座,所述调节座固定设有夹具组件。本实用新型在普通加工设备的基础上,设置了防护、驱动和调节装置,提高了精确度、工作效率、环保性和防护性,具有广阔的市场前景,适合推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 砷化镓晶种 加工 设备 | ||
【主权项】:
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