[实用新型]物理吸附仪有效
| 申请号： | 202021517668.0 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN213022765U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王战;李欣 | 申请（专利权）人： | 朗阁仪器（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人： | 刘影 |
| 地址： | 300410 天津市东丽区华明高新*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了物理吸附仪，属于实验设备领域，包括密封式腔体，所述密封式腔体的内部设有平行设置的快速抽空管路和慢速抽空管路，所述快速抽空管路包括第一管路，所述第一管路的一端与受控腔体连通，另一端与第一真空泵连通，所述第一管路上设有控制器通断的第一电磁阀；所述慢速抽空管路包括第二管路，所述第二管路的一端与受控腔体连通，另一端与第二真空泵连通，所述第二管路上至少设有两个电磁阀且二者间歇式动作。本实用新型控制抽真空的速率，既保证了抽真空的效率又避免了扬析，效率更高，稳定性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 物理 吸附 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗阁仪器（天津）有限公司，未经朗阁仪器（天津）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021517668.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
