[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 202021523780.5 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN212864945U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 郑沂;林志斌 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；蒸镀装置、填料装置分别设置于蒸镀腔体内，填料装置设置于蒸镀装置的一侧，旋转机构与填料装置可拆卸连接；蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；填料装置用于向蒸镀装置提供蒸镀材料；旋转机构用于将填料装置旋转至蒸镀装置上方；填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；感应机构设置于填料腔体的内壁上，出料开关设置于填料腔体上；填料腔体用于存放蒸镀材料；感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化。蒸镀过程中，可以完全在真空状态下进行加料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，避免外界空气中的颗粒进入腔体内，保持了蒸镀腔体内的洁净度，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
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