[实用新型]一种太阳能电池PECVD镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池PECVD镀膜装置，包括硅片台，所述硅片台包括放置台，所述放置台包括放置台体，所述放置台体上设置有多个硅片槽，所述硅片槽中间连接有多个放置台卡块，所述放置台卡块中间设置有圆孔，所述硅片槽一侧设置有硅片置入口，所述硅片台还包括镀膜台，所述放置台贴合镀膜台，所述镀膜台包括镀膜台体，所述镀膜台体侧面设置有挡板，所述镀膜台体内侧设置有镀膜台卡块，所述镀膜台卡块上连接有支撑钉，所述支撑钉顶部安装有滚子，所述放置台和放置台一侧连接有固定块，所述固定块通过固定柱和固定螺母将硅片台固定于支撑柱上，所述支撑柱一侧安装有双向电机，本实用新型，具有采用水平置入硅片的方式，可以同时镀膜两面和减小卡点印的特点。