[实用新型]一种气相沉积炉

摘要

本实用新型涉及沉积炉技术领域，特别是涉及一种气相沉积炉，包括炉壳，炉壳内底部这有坩埚，坩埚是设有埚盖，炉壳内顶部设有卸料箱，卸料箱内设有集尘箱，埚盖与卸料箱之间连接有沉积板，沉积板、埚盖以及卸料箱底部之间形成沉积室，埚盖上开设有多个连通沉积室的第一通孔，卸料箱底部开设有连通沉积室的第二通孔，坩埚与炉壳之间设有第一加热器，沉积板与炉壳之间设有第二加热器。通过第一加热器加热坩埚，使坩埚内的温度升高，放置在坩埚内的固体化学物质汽化，从多个第一通孔内进入到沉积室内，发生化学反应沉积，一小部分气体进入到卸料箱内，在卸料箱的顶部，温度降低，形成粉末状，受重力作用掉落至集尘箱内。