[实用新型]一种硅太阳能电池扩散炉

摘要

本实用新型涉及一种扩散炉，具体涉及一种硅太阳能电池扩散炉。本实用新型的扩散炉包括炉体、进气管和排气管，所述进气管一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，并沿炉体轴向延伸至载片石英舟的末端上方，炉体内的进气管部分设置有若干个喷淋口；所述排气管设置于炉体的底部，一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，炉体内排气管的长度为20‑35厘米。本实用新型一方面将排气石英管的炉内长度缩短，减小自重，使得石英管炉尾支点处杆杆力减小，石英管不易折断；另一方面将磷源进气管增长，进气管由一根增加至两根，两根进气管对称分布在与所述载片石英舟呈45度角的上方，并设置斜后45度喷淋口，磷源在管内分布更均匀，硅片扩散方阻更均匀。