[实用新型]基于微机电系统的垂直探针有效
申请号: | 202021560664.0 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN212341282U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 殷岚勇;吴彦 | 申请(专利权)人: | 苏州韬盛电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于微机电系统的垂直探针,包括探针主体,所述探针主体包括第一端部、第二端部,以及位于第一端部、第二端部之间,分别与第一端部、第二端部相连的弹性连接部,所述第一端部、第二端部、弹性连接部为一体结构,所述弹性连接部与所述第二端部形成连续的半圆弧状结构,所述探针主体采用光化学蚀刻制作而成。本实用新型的垂直探针的尺寸误差较小,产品的一致性较好,从而避免了在测试过程中由于尺寸误差导致的测试误差。 | ||
搜索关键词: | 基于 微机 系统 垂直 探针 | ||
【主权项】:
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