[实用新型]一种晶圆加工用自动卸料研磨装置有效
| 申请号： | 202021578564.0 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN213258871U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 宁富生 | 申请（专利权）人： | 坂口电子机械（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/00 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 201304 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，包括传送带主体，所述传送带主体的上方中部设置有研磨主体，所述传送带主体的外表面等距离的安装有橡胶工位，所述传送带主体的中部下方安装有安装座，所述安装座的内部转动安装有驱动轴，所述驱动轴靠近两端的位置分别设置为正向蜗杆与反向蜗杆，所述正向蜗杆与反向蜗杆的侧面均啮合有蜗轮，所述蜗轮的中部固定有凸轮轴，所述凸轮轴的上端穿过安装座的上表面，且凸轮轴的上端固定有凸轮，述伸缩杆靠近传送带主体中心的一端固定有弧形压板，本实用新型的两个弧形压板能够将晶圆挤压住，在挤压过程中两个弧形压板的运动具有同时性，所以可保证晶圆的位置不会有偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆加 工用 自动 卸料 研磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于坂口电子机械（上海）有限公司，未经坂口电子机械（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021578564.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
