[实用新型]涂胶显影设备有效
| 申请号： | 202021582674.4 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN212460313U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张建;陈兴隆;洪旭东 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块，设置于所述载体块和所述接口块之间，且包括第一液体处理模块以及设置于所述第一液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括四层层叠设置的第一热处理单元，所述第一液体处理模块包括四层层叠设置的第一液体处理单元，所述第二热处理模块包括四层层叠设置的第二热处理单元，且每一个单元均具有一个相适配的机械手。所述涂胶显影设备中，大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 显影 设备 | ||
【主权项】：
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