[实用新型]一种半导体芯片的放置装置有效
申请号: | 202021595710.0 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN213519897U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 李登有 | 申请(专利权)人: | 无锡市芯通电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人: | 李萍 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及半导体制备技术领域,公开了一种半导体芯片的放置装置,包括底座和框架,所述框架固定在底座的上方,底座上方中部的框架内竖向固定有竖板,所述竖板右侧的框架后侧竖向固定有安装板,安装板的前侧安装有风扇,且风扇为两个,所述竖板的两侧表面和框架的两侧内部表面均开设有卡槽,卡槽为多个,竖板左侧的卡槽与左侧框架内侧的卡槽位于同一高度。本实用新型通过在框架右侧的后端竖向固定安装板,同时在竖板的前侧安装风扇,在使半导体芯片置于放置板的放置槽内放置时,可以使其插置于右侧框架与竖板之间的卡槽内,在放置时风扇吹风使其上方空气流动,能够增加半导体芯片的降温速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 放置 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造