[实用新型]一种新型的晶圆转速测量装置有效
| 申请号： | 202021621203.X | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN213517184U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈雪琪;黄嘉劲 | 申请（专利权）人： | 黄嘉劲 |
| 主分类号： | G01P3/00 | 分类号： | G01P3/00;G01P3/36 |
| 代理公司： | 广州中粤知识产权代理事务所(普通合伙) 44752 | 代理人： | 杨毅宇 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型的晶圆转速测量装置，包括支撑座和从动轮，所述支撑座下端安装有电机，电机的活动端安装有主动轮，主动轮驱动晶圆旋转，所述主动轮上方设置有连杆，所述连杆一端安装有非接触式转速仪，连杆另一端通过阻尼转轴与支撑座转动连接，所述从动轮与一侧的晶圆接触配合，从动轮安装有与非接触式转速仪配合的反光片，所述支撑座安装有环绕晶圆分布的多个测速组件，本实用新型设计合理，利用多个测速组件和从动轮进行晶圆测速，对测量到的不同数值进行对比，并求平均值，来完成测速工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 转速 测量 装置 | ||
【主权项】：
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