[实用新型]外置式气相沉积设备排气装置有效
| 申请号： | 202021643621.9 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN213162381U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 浦招前 | 申请（专利权）人： | 苏州派华纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/04 | 分类号： | B08B15/04;C23C16/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了外置式气相沉积设备排气装置，包括排气装置主体，所述排气装置主体的内端中心设有中空管，所述中空管的侧端位置套接有套轴管，所述套轴管的侧端位置连通有排气部件，所述排气部件包括抽气端口、密封垫块、抽气机和连通管，所述抽气机设在排气部件的内端中心，所述抽气机的侧端位置与连通管相连通，所述连通管的底部位置与抽气端口相连通设置，所述抽气端口的侧部位置处与密封垫块相固定，所述抽气端口包括导管、第一导口盘和第二导口盘，所述导管设在抽气端口的内端中心，所述导管的侧端与第一导口盘相连通。本实用新型为外置式气相沉积设备排气装置，通过排气部件的设置，实现内端排气的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 外置 式气相 沉积 设备 排气装置 | ||
【主权项】：
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