[实用新型]一种测试腔及气压测试装置有效
| 申请号： | 202021649371.X | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212781039U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 金文超;闻永祥;孙福河;李佳 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集昕微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种测试腔及气压测试装置，当利用测试腔进行气体压力测试时，可通过气体供给装置向测试腔内提供预设压力的气体，预设压力的气体经过测试腔内气体分配装置的气体分流后，在位于载片平台上的晶圆表面形成预设压力，使得晶圆表面的多个芯片单元同时在预设压力的条件下进行气压可靠性测试，无需对晶圆表面的多个芯片单元进行逐一的气压可靠性测试，有利于提高气压可靠性测试的效率。另外，测试腔的整体结构简单、易于操控，兼顾便携性和经济性，且测试腔和晶圆形成的密封结构能够更加精准的控制施加在晶圆上的气压大小，不会存在开放式结构中的气体逸散的情况；另外密封结构能够更加有效的减少测试过程中的颗粒沾污。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 气压 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州士兰集昕微电子有限公司，未经杭州士兰集昕微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021649371.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型蜗轮蜗杆减速机
- 下一篇：一种抗剥离电路板用的铜箔生产加工装置
