[实用新型]晶圆切割设备漏水自动检测报警系统有效
| 申请号： | 202021652769.9 | 申请日： | 2020-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN212845987U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 于明涛;章圣武;杨洋;原宗庆 | 申请（专利权）人： | 威海银创微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01V9/00 | 分类号： | G01V9/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其包括:监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；控制系统，其包含电源和与电源电连接的控制器，所述控制器接收所述湿度传感器发送出的漏水信号；报警系统，控制器接收到漏水信号后控制所述报警系统报警。本实用新型解决了现有晶圆切割设备漏水，人工难以检测发现，造成电控部分进水短路的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 设备 漏水 自动检测 报警 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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