[实用新型]带有冷却装置的真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202021662801.1 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN213327802U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王正云;刘贺威 | 申请（专利权）人： | 苏州众智泽智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 胡林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 冷却 装置 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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