[实用新型]一种亚微米级运动平台有效
| 申请号： | 202021669836.8 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN212649343U | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 周建红 | 申请（专利权）人： | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K11/33;H02K11/22;H02P25/06 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 卢杏艳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电机驱动技术领域，尤其指一种亚微米级运动平台，包括直线电机、气浮导轨、滑块、光栅尺、花岗岩底板、X向底板、Y向底板、Z向支架和驱动控制器；所述直线电机包括X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机；所述气浮导轨包括X向气浮导轨、Y向气浮导轨和Z向气浮导轨。本实用新型采用直线电机、气浮导轨和滑块的结构设计，极大的提高了运动平台的稳定性性和运动控制精度；将X向底板、Y向底板分别设置在X向气浮导轨和Y向气浮导轨之间，进一步提高了X向底板和Y向底板的运动稳定性；X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机的设计，保障了在X、Y、Z三个维度的精密运动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微米 运动 平台 | ||
【主权项】：
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