[实用新型]晶圆预载装置及自动光学检测仪

摘要

本申请提供一种晶圆预载装置及自动光学检测仪，用于将晶圆按预设状态送入自动光学检测仪的检测装置中进行检测。晶圆预载装置包括用于承载并固定需要预载的晶圆的旋转载台、用于将所述晶圆置入或移出所述旋转载台的转运单元、用于识别晶圆的身份标识的标识单元、用于识别所述晶圆的放置角度并控制所述旋转载台转正所述晶圆的调整单元、以及用于向承载于所述旋转载台上的所述晶圆的第一外表面喷射惰性气体以清除杂质的清洁单元。其中所述旋转载台还用于在所述清洁单元工作时带动所述晶圆相对于所述清洁单元旋转。本申请晶圆预载装置利用所述晶圆检测前需要旋转角度以规正的特点，在其承载于所述旋转载台上时对其进行清洁，可以获得更好的清洁效果，且改造成本较低。