[实用新型]一种半导体芯片生产用浸没式光刻机有效
| 申请号： | 202021680071.8 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN213409535U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李阿强 | 申请（专利权）人： | 绍兴华创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/10;B08B3/14;F26B21/00;G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 陈进 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市越*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光刻机技术领域，具体为一种半导体芯片生产用浸没式光刻机，包括有操作台，所述操作台的两侧分别安装有升降机，所述升降机的顶端连接有轨架，所述轨架上安装有移动机，所述移动机的底部设有动力泵，所述动力泵的两端分别连接有连接块，所述连接块的内部设有缓冲弹簧。本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：通过动力泵、缓冲弹簧和压力感应器，使动力泵可以对硅片进行夹持，而缓冲弹簧防止用力过度对硅片造成损伤，同时压力感应器检测固定力度，避免过度施力，从而提高了装置的安全性，另外移动机可以带动硅片运动到清洗箱的上方，升降机带动移动机上下运动，实现自动化调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 芯片 生产 浸没 光刻 | ||
【主权项】：
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