[实用新型]减小放大器噪声的熔丝结构有效
申请号: | 202021683530.8 | 申请日: | 2020-08-13 |
公开(公告)号: | CN212783459U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 郭虎;徐婷婷;王照新;李建伟 | 申请(专利权)人: | 苏州航芯时代微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/732 | 分类号: | H01L29/732;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/417 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种减小放大器噪声的熔丝结构,包括底部的集电区N型衬底,集电区N型衬底底部与集电极c相连;集电区N型衬底上方的沟槽内设有基区P型衬底;基区P型衬底上方的沟槽内设有发射区N型衬底;集电区N型衬底的顶部、基区P型衬底的顶部,以及发射区N型衬底的顶部,设有二氧化硅层;基区P型衬底顶部二氧化硅层上的光刻凹槽与基极b相连;发射区N型衬底顶部二氧化硅层上的光刻凹槽内注入有含锑的多晶硅N型层;多晶硅N型层向二氧化硅层顶部延伸;多晶硅N型层的上方中心设有光刻凹槽,多晶硅N型层的表面设有含As的多晶硅熔丝,多晶硅熔丝上方填充有金属层。本实用新型保证了发射频率,减小了阻值,降低了内部热噪声,可靠性高,使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 减小 放大器 噪声 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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