[实用新型]激光加工晶圆精密定位托料架结构有效
| 申请号： | 202021701240.1 | 申请日： | 2020-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN213497261U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陶为银;巩铁建 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 张春 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种激光加工晶圆精密定位托料架结构，包括在转运位设置的托料架，托料架上设置其上用于吸附晶圆托盘的托料架吸盘，托料架吸盘可以升降。托料架吸盘包括吸盘架体，吸盘架体上周向设置至少3个向上的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴连通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。托料架吸盘上固定一端向外侧伸出的托料架吸盘连接板、机架上固定伺服电机带动的托料架丝杠机构，托料架丝杠机构的托料架螺母与托料架吸盘连接板固定。托料架吸盘给与晶圆托盘的吸附力使晶圆托盘位置比较稳固，从而保证精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 精密 定位 托料架 结构 | ||
【主权项】：
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