[实用新型]一种晶圆柔性存料载具移动结构

摘要

本实用新型提供一种晶圆柔性存料载具移动结构，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒以及设置在机架上带动晶圆存料盒上下移动的存料盒滚珠丝杆机构，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘插入方向的两侧壁设置有与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，水平托料槽的上壁设置出口方向向下的吹气孔。晶圆存料盒上设置气体通道，气体通道一端与吹气孔连通，另一端通过气管连通气源。存料盒滚珠丝杠机构启动或者停止时，水平托料架上的吹气孔吹气给晶圆托盘一定的压力，晶圆托盘稳定的与下侧壁压紧。避免急停或者启动时晶圆托盘和晶圆存料盒碰撞，彼此损伤。