[实用新型]一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构有效
| 申请号： | 202021701248.8 | 申请日： | 2020-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN212952992U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 张春 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆连续生产用托料导轨宽度调节结构，包括设置在晶圆夹持机构下方转运位的托料架，托料架包括托料底板、托料底板上设置两根平行的托料导轨、托料导轨在导轨驱动机构的带动下沿着托料底板相对或者相向移动。导轨驱动机构为设置在托料底板上的同步带传送机构，同步带传送机构的两侧同步带上分别固定一个同步带连接板、两个同步带连接板相对或者相向移动，每个同步带连接板与一个托料导轨连接。托料导轨上设置接近开关。本实用新型的两根托料导轨之间的距离可以调节，从而适应不同规格晶圆托盘的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续生产 用托料 导轨 宽度 调节 结构 | ||
【主权项】：
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