[实用新型]激光加工晶圆转运结构

摘要

本实用新型提供一种激光加工晶圆转运结构，包括直线转运机构，直线转运机构包括晶圆夹持机构以及带动晶圆夹持机构直线移动的夹持直线驱动机构；夹持直线驱动机构的运动件与晶圆夹持机构之间设置缓冲防夹空装置。夹持直线驱动机构的运动件包括直线转运滑块；直线转运滑块上设置夹持滑块，夹持滑块可以沿着直线转运滑块移动方向上移动；夹持滑块和直线转运滑块之间设置夹持滑块复位弹簧；夹持滑块复位弹簧的长度沿着夹持滑块的移动方向。夹持滑块位移检测机构就是用来检测运动件和晶圆夹持机构之间是否有相对移动。从而判断晶圆夹持机构上夹持片和下夹持片对应的高度的晶圆存料盒内是否有可以夹持的晶圆托盘。