[实用新型]高压深刻蚀石英盖板

摘要

本实用新型公开了一种高压深刻蚀石英盖板，包括石英盖板本体、散热片、第一支撑板、第二支撑板、盖板合页以及加固槽，所述石英盖板本体的表面设置有散热片，所述第一支撑板设置于石英盖板本体的左侧，所述第二支撑板设置于石英盖板本体的右侧，所述盖板合页设置于石英盖板本体的下侧，所述加固槽活动安装于石英盖板本体的后部，辅助使用承载装置进行多枚硅片的盛放，需要通过盖板辅助承载装置进行硅片的保存，可用于保温筒使用，从而保存硅片。本实用新型适用于高压深刻蚀作用，其表面刻蚀液不易被自然风干燥及与硅片接触造成磨损碰撞，有助于提高散热效率，延长硅片的保存时长。