[实用新型]一种电源盒及薄膜沉积系统有效
| 申请号： | 202021714374.7 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN212925149U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 赵平;赵鹏鹏;廖良生;武启飞;胡淳 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H02M1/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电源盒及薄膜沉积系统。所述电源盒包括多个第一加热电源、多个第一温控表和切换部件；其中，切换部件包括多个第一接口、多个第二接口和多个第三接口，第一接口与第一加热电源一一对应连接，第二接口与第一温控表一一对应连接，第三接口与外部信号产生部件连接；第二接口和第三接口均与第一接口一一对应；切换部件用于在第一状态下连通各第二接口与对应第一接口，断开各第三接口与对应第一接口，在第二状态下连通至少一个第三接口与对应第一接口，断开各第三接口与对应第一接口。本实用新型实施例提供的技术方案，使得电源盒可适用于不同的工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电源 薄膜 沉积 系统 | ||
【主权项】：
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