[实用新型]扩散工艺用石英源瓶

摘要

本实用新型公开了一种扩散工艺用石英源瓶，包括石英源瓶、进气管、第一阀门、出气管、第二阀门、半透膜框、第一导气管、补气罐、补气管、支撑底座与第二导气管，进气管的一端位于石英源瓶的上部，进气管的另一端位于石英源瓶的内部且靠近石英源瓶的底部，第一阀门设置于进气管的顶端，出气管的一端位于石英源瓶的上部，出气管的另一端位于石英源瓶的内部且靠近石英源瓶的底部，第二阀门设置于出气管的顶端，半透膜框设置于石英源瓶的内部，补气罐通过第一导气管、第二导气管与石英源瓶连接，补气管设置于补气罐的顶部，支撑底座设置于补气罐的底部。本实用新型有效增强氮气的气态扩散源的均匀程度，提高扩散工序的工作效率。