[实用新型]机台气体置换设备有效
| 申请号： | 202021728532.4 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN213207281U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 黄德昇;杨志坚;黄志平;亓文丽 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/065 | 分类号： | F17D1/065;F17C9/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘曾 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种机台气体置换设备，涉及半导体设备领域，该机台气体置换设备包括机台腔体、置换管道、抽气管道和气体加热装置，所述置换管道与所述机台腔体连接，用于向所述机台腔体内通入保护气体，所述抽气管道与所述机台腔体连接，用于抽取所述机台腔体内的气体，所述气体加热装置与所述置换管道连接，用于对所述置换管道进行加热。相较于现有技术，本实用新型提供的机台气体置换设备，能够快速置换机台腔体内的残存气体，并且快速去除机台腔体内的水汽残存，减少了清洁时间，提高了清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 气体 置换 设备 | ||
【主权项】：
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