[实用新型]一种真空蒸发镀膜设备有效
申请号: | 202021733023.0 | 申请日: | 2020-08-19 |
公开(公告)号: | CN212293733U | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 闫海涛 | 申请(专利权)人: | 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人: | 杨华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种真空蒸发镀膜设备,其中膜料供给机构包括供料器(41)和供料座(31),所述供料座(31)固定于所述真空镀膜室(1)的壁部,所述供料器(41)设置于所述供料座(31)内并适于相对于所述供料座(31)移动,以使在供料状态时所述供料器(41)的出料口(44)露出所述供料座(31),在镀膜工作状态时所述供料器(41)的出料口(44)被所述供料座(31)挡闭。整个供料过程仅需供料器相对于供料座移动,供料机构简单,供料步骤简便,提高了膜料供给及整个镀膜工艺效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 蒸发 镀膜 设备 | ||
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