[实用新型]一种晶圆片全自动清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片全自动清洗设备，包括壳体，所述壳体左侧中部位置设有用于控制设备运作的控制仓，所述壳体为瓷白PP板材材质，所述控制仓上设有用于设定设备运行参数的触摸屏，所述触摸屏下方设有用于显示设备出现故障的的信号指示灯，所述壳体顶部设有电控区，所述电控区左侧设有用于设备异常时可停机的急停按钮，所述控制仓右侧设有用于方便维修安装的推拉门，所述推拉门下方设有盖板，所述盖板与壳体通过盖板相连，所述壳体底部固定安装有支撑柱，所述支撑柱下方设有用于方便移动的行走轮；本实用新型通过工艺槽内的个机构对晶圆片表面附着的污渍进行清洗，使得晶圆片的表面更加干净，不会残留杂质，同时也有效的提高了工作效率。